技術(shù)參數(shù)
量 程:0 ~ 10/100/1000ppm, 1/25% O2 自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)??辗盅醴謨x
傳感器:超級(jí)Galvanic電化學(xué)傳感器。
準(zhǔn)確度:量程的1%(在常溫,常壓下)。
技術(shù)參數(shù)
量 程:0 ~ 10/100/1000ppm, 1/25% O2 自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)。空分氧分儀
傳感器:超級(jí)Galvanic電化學(xué)傳感器。
準(zhǔn)確度:量程的1%(在常溫,常壓下)。空分氧分儀
分辨率:量程的0.1%。
傳感器壽命:36個(gè)月(在100ppm下)??辗盅醴謨x
線性度:R平方值>0.995。
校準(zhǔn)氣:建議采用80%FS O2 in N2標(biāo)準(zhǔn)氣。
響應(yīng)時(shí)間:20秒達(dá)到90%。
回復(fù)時(shí)間:15分鐘從空氣(30秒)到10ppm。
10分鐘從9ppm(2分鐘)到10ppb。
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操作條件
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、空分、特氣行業(yè)。
測(cè)量介質(zhì):H2、He、碳?xì)浠衔?、惰性氣體、混合氣體等。
接 口:進(jìn)出氣口采用1/4”或1/8”卡套接頭。
壓 力:20 ~ 100psig(zui大150psig)。
溫 度:-5 ~ +45℃。
流 量:1 ~ 3 SCFH,*:2 SCFH(立方英尺/每小時(shí))
分辨率:量程的0.1%。
傳感器壽命:36個(gè)月(在100ppm下)。
線性度:R平方值>0.995。
校準(zhǔn)氣:建議采用80%FS O2 in N2標(biāo)準(zhǔn)氣。
響應(yīng)時(shí)間:20秒達(dá)到90%。
回復(fù)時(shí)間:15分鐘從空氣(30秒)到10ppm。
10分鐘從9ppm(2分鐘)到10ppb。
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操作條件
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、空分、特氣行業(yè)。
測(cè)量介質(zhì):H2、He、碳?xì)浠衔?、惰性氣體、混合氣體等。
接 口:進(jìn)出氣口采用1/4”或1/8”卡套接頭。
壓 力:20 ~ 100psig(zui大150psig)。
溫 度:-5 ~ +45℃。
流 量:1 ~ 3 SCFH,*:2 SCFH(立方英尺/每小時(shí))