質量流量控制器 型號;DP-D07-7B
DP-D07-7B型 質量流量控制器
儀器簡介:
質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量行地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
參數:
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調節(jié)閥(常閉) |
準確度 | ±1.5%F.S. |
線性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重復精度 | ±0.2%F.S. |
響應時間 | ≤7sec |
工作溫度范圍 | 5~45℃ |
工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡膠(或氯丁橡膠) |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) |
接頭選擇 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose |
重量 | 1.1Kg |