ABL3600雙軸,大孔徑,開放式氣浮軸承平臺,專為掃描顯微鏡,掩模,晶片檢測*應用而設計。
設計和結構
結合高硬度氣浮軸承和雙直線電機驅動可保證XY開放式平臺具有杰出的性能特征。ABL3600在性能上是傳統(tǒng)機械軸承開放式平臺的升級版。
同Aerotech所有氣浮軸承系統(tǒng)一樣,專有制造技術的使用以生產出杰出幾何性能即直線度,平面度,傾斜,滾轉和偏轉的平臺。是由Aerotech的產品工廠制造,且通過傳統(tǒng)方法不可達到的精確公差加工而來。
無刷直線伺服電機
帶有高功率直線電機以滿足苛刻要求應用的需求。該平臺具有直驅機械的所有優(yōu)勢:零背隙,無纏繞,特別的加速度,零摩擦和杰出的伺服硬度。許多應用要求好的運動穩(wěn)定性,該性能只能通過直線電機驅動才能滿足。由于直驅無摩擦及無再循環(huán)因素,是掃描,成像或其他精密應用的理想選擇。
高精度直線編碼器反饋
標準反饋設備是高分辨率,非接觸,直線編碼器。這種非接觸式編碼器在工作條件先可提供杰出的重復定位精度和穩(wěn)定性。可提供數(shù)字量和模擬量輸出兩種方式。
線纜管理
經過多年全面深思熟慮的研究,Aerotech可提供工業(yè)上的線纜管理系統(tǒng)(CMS)。我們仔細優(yōu)化線纜彎曲半徑和只使用高質量線纜以確保多年*操作。在很少發(fā)生的故障事件中,Aerotech的標準設計可以zui小停機時間來提供線纜快速簡易更換。
為了使zui終系統(tǒng)容易集成,我們在CMS線束中提供所有客戶要求線纜,氣管等。兩端可*連接以簡單集成到客戶機器上。
定制系統(tǒng)
Aerotech能設計制造定制高性能系統(tǒng),以滿足客戶需求和多種應用性能參數(shù)。我們能夠吸收超過35年運動控制和定位系統(tǒng)經驗來生產滿足您應用的的解決方案。