性能參數
平移范圍12.5mm(5")
測量范圍300μm(±150μm)[12000μinch(±6000μinch)]
驅動/檢測元件探測儀:178-390/178-395
測頭:金剛石
測量力:4mN/0.75mN
測方式:微感應
評定輪廓P,R
測量參數Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Sm,S,Pc,P3z,mr
數字過濾2CR-75%,2CR-75% PC,Gaussian-50%
截至λC 0.25,0.8,2.5mm
波長λS 2.5,8μm
取樣長度(L)0.25,0.8,2.5mm