MCV-2002型激光多普勒干涉儀技術規(guī)格
MCV-2002型激光多普勒干涉儀,采用一個雙光束激光頭和一個雙通道的處理器,可用來精確測量和校準機床、三座標測量機和X-Y平臺的機械精度。
測量功能:
1.測量軸的定位精度、重復定位精度及反向間隙;
2.測量軸的角偏(直線度角值)、直線度(線值);
3.測量平臺的平面度;
4.選購附件(SQ-500)后可測量軸的垂直度;
5.選購附件(RT-100或RT-100A)后可測量轉(zhuǎn)臺精度;
6.選購附件后可測量圓形運動(激光球桿測量)精度。
主要特點:
1.激光頭小型化,無須三腳架,用磁座可直接安裝在機床的工作臺上或主軸上;
2.激光頭和靶標反射鏡二件之間只要發(fā)生相對位移就能進行測量,測量系統(tǒng)中無須分光鏡、所以對光極其方便;
3.一次測量可同時測量出軸的定位精度、角偏和直線度,并可根據(jù)美國、德國有關工業(yè)標準及ISO-230標準來分析測量結果,測量結果可列表打印出或繪圖打印出來;
4.在測量角偏、直線度和平面度時可采用飛行采樣方式,在測量過程中無須仃機也可采樣檢測,節(jié)約了測量時間和編程時間;
5.測量系統(tǒng)響應速度快,在機床速度達1.8米/秒情況下仍可正常采樣、計數(shù),并保持0.01微米的分辨率;
6.測量點數(shù)、測量位置和測量次數(shù)可按需設定;
7.系統(tǒng)軟件通過外接的傳感器,可自動對氣壓、氣溫和材料溫度進行補償;
8.測量分析軟件可直接在(帶Windows操作系統(tǒng)和RS232接口)的個人電腦上運行。
技術規(guī)格:
1.分辨率:
定位: 0.01微米
角偏: 0.2秒
直線度: 0.01微米
2.測量精度(不確定度)
定位: 1ppm(1微米/每米)
角偏: 讀數(shù)的0.2%
直線度: 讀數(shù)的0.2%
3.測量范圍
定位: 10米(zui長可選購60米)
角偏: 5米(zui長可選購30米)
直線度: 5米(zui長可選購30米)
4.zui大可測角偏: ±10度
5.光靶zui大移動速度: 1.8米/秒
6.電源: 90~235VAC,50~60赫
7.操作環(huán)境:
溫度: 5~38℃(可選購0~40℃)
高度: 0~3000米
相對濕度: 0~95%