氣體傳輸:2-8種氣體 , Swagelok卡套連接
氣體類型:30種
進(jìn)氣壓力:0.1-0.4MPA
控制閥動(dòng)作型式:常閉式
響應(yīng)時(shí)間(sec):1S
工作壓差:0.05~0.5MPA
zui大耐壓:3MPA
控制原理:質(zhì)量流量控制,每個(gè)出口單獨(dú)控制
流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做
采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制,并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響
其他流速可選擇 ,其他氣體可選擇
準(zhǔn)確性: 優(yōu)于1%
數(shù)據(jù):輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量( 1個(gè)大氣壓,0度)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
控制顯示方式:電腦操作
精確控制兩種不同氣體流量大小,使用其按不同比例(量)均勻混合,并精確控制混合氣體流量大小。
可通過(guò)電腦軟件控制及采集流量信號(hào)