小型離子濺射儀 型號(hào):YBT3-SD-3000庫(kù)號(hào)：M250167   查看hh原理： 依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自 動(dòng)控制電路控制真 空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離te 性，采用da 容量樣品濺射真 空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層均 勻 純 凈。 參數(shù)：? 主機(jī)規(guī)格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）? 靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）? 靶材：Au（標(biāo)配）? 樣品室：硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm（D×H）? 靶材尺寸：Ф 50mm? 真空指示表： 高 真 空度：≤ 4X10-2 mbar? 離子電流表： 大 電流：50mA? 定時(shí)器： 長(zhǎng)時(shí)間：1-360s? 微型真 空氣閥：可連接φ 3mm 軟管? 可通入氣體： 多種? zui 高電壓： -2800 DCV? 機(jī)械泵：標(biāo)準(zhǔn)配置 2L/S（國(guó)產(chǎn) VRD-8） 用途： 適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。 特點(diǎn)：2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。3、SETPLASMA 手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不 必 要的損 傷。4、真 空保護(hù)可避免真 空過(guò)低造成設(shè)備短路。5、同時(shí)可以通過(guò)換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達(dá)到geng 細(xì)顆粒的涂層。6、通過(guò)通入不同的惰性氣體以達(dá)到純凈的涂層。7、高壓輸出涂層牢固，適用于非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。