1559A MKS質(zhì)量流量計(jì)
1559A MKS質(zhì)量流量計(jì)采用彈性密封設(shè)計(jì),流量范圍20SLM至200SLM。具有*的消除控制閥振蕩設(shè)計(jì),并提供比其他流量控制器更快的響應(yīng)時(shí)間。閥門(mén)平衡力的設(shè)計(jì)自動(dòng)中和控制閥內(nèi)的不平衡。1559A的精度為滿(mǎn)量程的±1%。
1559A選型:
前綴 | 編碼 |
1559A | 1159A |
氣體選擇 | |
Helium, He | 001 |
Argon, Ar | 004 |
Hydrogen, H2 | 007 |
Nitrogen, N2 | 013 |
Oxygen, 02 | 015 |
流量選擇 | |
20 | 21L |
50 | 51L |
100 | 12L |
200 | 22L |
接口法蘭選擇 | |
標(biāo)準(zhǔn)Swagelok 1/2管道 | S |
可選擇Swagelok 8VCR公頭 | R |
可選擇Swagelok 8VCO公頭 | G |
閥門(mén)選擇 | |
通常情況關(guān)閉 | 1 |
電通訊連接方式 | |
15針 | B |
密封選擇 | |
標(biāo)準(zhǔn)的:Viton | V |
可選擇:Neoprene | N |
可選擇:Buna-N | B |
可選擇:Kalrez | K |