主要技術參數(shù):
1.zui高儲氣壓力：4.0Mpa
2.回收氣體壓力：初壓≤0.7MPa（ 20℃）,終壓≤0.05Mpa, 殘壓達到10×133Pa
3.回收氣體速度：將設備容積為1m3，氣壓為0.7Mpa的SF6氣體回收到容積為 1m3，初壓為2MPa的貯罐中，氣體回收時間為：設備中殘壓達到0.05Mpa時不超過0.5～1h。設備中殘壓達到10×133Pa時不超過1～2h。
4.充氣速度：對初壓低于133Pa的1m3容器充SF6氣體至0.7Mpa時充氣時間不超過0.2h。充氣速度：≤10m3/h, 5m3/h.
5.真空速度：對容積為1m3、初壓0.1Mpa的容器抽真空至133Pa，速度：≤10m3/h, 5m3/h.
6.裝置本身極限真空度：≤10Pa
7.裝置的真空度保持：在133Pa壓力下保持24h，真空度上升小于400Pa。
8.凈化氣體濕度控制：當氣源的六氟化硫氣體濕度為:≥1000μL/L時，經(jīng)一次回收后的氣體濕度應低于: ＜80μL/L。
凈化氣體質量控制：a.油分控制：＜10μg/g
b.塵?？刂疲毫?＜20μm
c.裝置年泄漏率：＜1％
d.裝置平均*時間≥1000h
e.累積*運行時間≥5000h
f.噪音≤70dB
9.凈重: 400kg
10.外型尺寸:1420×830×1240（H）mm
