Pfeiffer 分子泵在LOW-E(低輻射玻璃)生產(chǎn)線中的應(yīng)用
LOW-E全名Low emissivity,是低輻射鍍膜玻璃。相對(duì)熱反射玻璃而言是一種新型節(jié)能玻璃。目前上普遍采用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)(離線法)生產(chǎn)Low-E玻璃。伯東公司銷售的德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 分子泵成功應(yīng)用于此。
原理:玻璃垂直放置在架子上,送入10-1帕數(shù)量級(jí)的真空環(huán)境中,通入適量的工藝氣體(惰性氣體Ar或反應(yīng)氣體O2、N2),并保持真空度穩(wěn)定。將靶材Ag、Si等嵌入陰極,并在與陰極垂直的水準(zhǔn)方向置入磁場(chǎng)從而構(gòu)成磁控靶。以磁控靶為陰極,加上直流或交流電源,在高電壓的作用下,工藝氣體發(fā)生電離,形成等離子體。其中,電子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的共同作用下,進(jìn)行高速螺旋運(yùn)動(dòng),碰撞氣體分子,產(chǎn)生更多的正離子和電子;正離子在電場(chǎng)的作用下,達(dá)到一定的能量后撞擊陰極靶材,被濺射出的靶材沉積在玻璃基片上形成薄膜。為了形成均勻*的膜層,陰極靶靠近玻璃表面來回移動(dòng)。為了取得多層膜,必須使用多個(gè)陰極,每一個(gè)陰極均是在玻璃表面來回移動(dòng),形成一定的膜厚。
德國(guó)普發(fā) PFEIFFER 憑藉其120多年的真空制造經(jīng)驗(yàn)和范圍內(nèi)的售后服務(wù)和技術(shù)支援贏得LOW-E市場(chǎng)客戶的青睞,德國(guó)馮.阿登納(VON ARDENNE)是zui典型的客戶。PFEIFFER 分子泵的LOW-E生產(chǎn)線使用在信義玻璃,南玻等中國(guó)玻璃制造*。
Pfeiffer 分子泵優(yōu)點(diǎn):
Ø 多抽速供客戶選擇,抽速為1,000至2,000L/S
Ø 對(duì)于H2,He和Ar,CF4有高的抽速
Ø 安裝位置從0到90度,90到180度
Ø 高的氣體流通量,即使是Ar,CF4
Ø 集成的TC 1200驅(qū)動(dòng)單元可直接連接電源
Ø 抗腐蝕能力供選擇
Ø 豐富的介面介面:RS-485以及遠(yuǎn)端控制;profibus或者Devicenet可供選擇
Ø 擁有IP 54和Semi S2 等級(jí)
Ø 穩(wěn)定安全的轉(zhuǎn)子軸承系統(tǒng)
Ø 符合UL,CSA以及TUV認(rèn)證
Ø 簡(jiǎn)單的安裝
伯東公司作為優(yōu)秀的德國(guó)PFEIFFER真空設(shè)備中國(guó)供應(yīng)商。深圳,上海設(shè)有德國(guó)PFEIFFER同步的服務(wù)中心,提供完善的售前,售后服務(wù)。
伯東公司 主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品 德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的 真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管); 氦質(zhì)譜檢漏儀;質(zhì)譜分析儀;真空系統(tǒng)以及美國(guó) Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源.Gamma離子泵等。
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