功能和優(yōu)勢
- 通過板上智能控制可以降低運(yùn)行功耗，減少運(yùn)行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動、智能冷卻風(fēng)扇和自動排氣選件。
- 與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個(gè)或多個(gè)真空計(jì)而不需要額外的顯示控制器。
- 并行或串行接口。
- 并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號界面。
- 串行模式提供 RS232，可以全面控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：
- 排氣閥控制設(shè)置
- 運(yùn)行速度指示
- 待機(jī)運(yùn)行速度
- 可編程功率設(shè)置
- 功耗
- 泵/控制器溫度
- 標(biāo)配的入口篩網(wǎng)。
- 用于清潔泵、減少振動和zui大程度降低磨損的永磁上軸承。
- 手動排氣閥（電磁閥操作的型號可以用于全自動排氣）。
- Holweck 分級實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級壓力容差。
- 氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護(hù)電機(jī)和下軸承。
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
抽速 ISO63/63CF （DN40NW）（ISO100） | |
N2 | 61 ls-1 （42 ls-1） （66 ls-1） |
He | 57 ls-1 （49 ls-1） （59 ls-1） |
H2 | 53 ls-1 （48 ls-1） （54 ls-1） |
壓縮比 | |
N2 | >1 × 1011 |
He | 1 x 106 |
H2 | 5 x 104 |
極限壓力 （mbar） | |
帶有 RV 前級泵 ISO/CF | <5 x 10-9 / 5 x 10-10 |
帶有隔膜前級泵 ISO/CF | <5 x 10-8 / 5 x 10-9 |
出口法蘭 | DN16NW |
*前級泵* | RV5/nXDS5i |
排氣口 | 1/8 英寸 BSP |
吹掃口 | 1/8 英寸 BSP |
zui大連續(xù)進(jìn)氣口壓力（輕氣體泵送）† | |
水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） | 2 × 10-2 mbar |
強(qiáng)制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度 | 1 × 10-2 mbar |
泵旋轉(zhuǎn)速度 | |
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 | 90000 rpm |
待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 | 在 49500 至 90000 rpm 之間變化 |
可編程功率限制設(shè)置 | 可在 50 至 120 W 之間變化（默認(rèn)為 80 W） |
到 90% 速度的啟動時(shí)間 | 110 s ‡ |
模擬輸出 | 轉(zhuǎn)速； |
冷卻方法# | 強(qiáng)制空氣/水 |
強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 | 5 - 35 °C |
zui小冷卻水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
水溫范圍 | 10 - 20 °C |
zui高入口法蘭溫度 | 100 °C |
操作姿態(tài) | 垂直且豎直，直到 |
1 米處的噪音級別 | <50 dB（A） |
泵可以承受的zui大磁場 | 5 mT |
*控制器 | TIC100 分子泵和儀器控制器 |
靜止電功率 | 10 W |
