CYG500系列微型、薄型動(dòng)態(tài)壓力傳感器

一、CYG502型超微型壓力傳感器（絕壓）

標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸zui小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計(jì)、從而實(shí)現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的*化，為超微型傳感器的實(shí)現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

使用了硅–硅鍵合技術(shù)，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測(cè)量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。

二、CYG503型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究試驗(yàn)中，要求安裝尺寸小，不擾動(dòng)流場(chǎng)，動(dòng)態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動(dòng)態(tài)壓力分布測(cè)量而設(shè)計(jì)的。應(yīng)用于如發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣道壓力畸變、喘振等的空氣動(dòng)力學(xué)性能測(cè)定, 敏感元件的固有頻率＞200kHz。

CYG503的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。*的微型化的壓力敏感芯片采用無應(yīng)力封裝技術(shù)，密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細(xì)管中。絕壓型傳感器參考?jí)毫η皇切酒趁婷芊獾恼婵涨?，表壓型傳感器的參考?jí)毫η皇峭ㄟ^一根更細(xì)的不銹鋼毛細(xì)管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩(wěn)定的壓力參考而用細(xì)尼龍管將它引至氣壓穩(wěn)定處。

三、CYG504型微型低壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑4mm的微型壓力傳感器CYG504是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究試驗(yàn)中，要求測(cè)量量程低，安裝尺寸小，不擾動(dòng)流場(chǎng)，動(dòng)態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動(dòng)態(tài)壓力分布測(cè)量而設(shè)計(jì)的。應(yīng)用于如風(fēng)洞中正空度脈動(dòng)測(cè)量、中低速風(fēng)洞空氣動(dòng)力學(xué)性能測(cè)定等。

四、CYG505型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動(dòng)力學(xué)研究。縮模實(shí)驗(yàn)要求的外形尺寸小，對(duì)流場(chǎng)擾動(dòng)小，量程低、靈敏度高，動(dòng)態(tài)頻響好而專門設(shè)計(jì)的微型低量程脈動(dòng)壓力傳感器。

CYG505的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造、三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移。用CAD輔助的有限元分析基礎(chǔ)上的*力學(xué)構(gòu)件設(shè)計(jì)、版圖布局設(shè)計(jì)、加上精密的各向異性腐蝕，解決了低量程下線性度和輸出靈敏度的矛盾。小至2mm徑向尺度的微型芯片，具有低達(dá)20KPa的量程和優(yōu)秀的線性度，滿足了水工縮模測(cè)量的精度與靈敏度要求。

CYG505采用了敏感元件背面承壓的工作模式，因此它可以用于導(dǎo)電性的水及其它液體介質(zhì)。有特殊腐蝕性或溶滲性的介質(zhì)訂貨時(shí)請(qǐng)與廠家協(xié)商。

為了防止使用安裝處偶然浸水造成表壓傳感器的失效，CYG505在尾端出線處采用了PVC導(dǎo)管作為通氣及防水保護(hù)，微型電纜從PVC管中孔內(nèi)引出。由于工藝難度，PVC管的zui大長(zhǎng)度限制為7m，對(duì)于超過7m長(zhǎng)度或不方便套管的可也選用Φ3mm雙屏蔽導(dǎo)氣電纜。

五、CYG506型微型微壓傳感器（表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑6mm的微型微壓傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究流場(chǎng)分布設(shè)計(jì)的，它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實(shí)驗(yàn)工況。傳統(tǒng)的用毛細(xì)管引出壓力用掃描閥巡測(cè)的方式，因毛細(xì)管頻響的損失而測(cè)得的為穩(wěn)態(tài)流場(chǎng)分布?，F(xiàn)場(chǎng)直接布置微型傳感器的方法可獲得精確的動(dòng)態(tài)流場(chǎng)分布。

CYG506的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。采用CAD技術(shù)的力敏結(jié)構(gòu)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化了力學(xué)模型、雙島膜結(jié)構(gòu)（低微壓）和梁膜島復(fù)合結(jié)構(gòu)（超微壓）使得壓力敏感元件實(shí)現(xiàn)了低量程、高靈敏度和優(yōu)良線性度的統(tǒng)一兼得，應(yīng)力互補(bǔ)設(shè)計(jì)和無應(yīng)力微封裝技術(shù)實(shí)現(xiàn)了量程下的良好穩(wěn)定性。

CYG506為表差壓型，有探針型和螺紋安裝式兩種外形。外徑為Φ6mm，長(zhǎng)度均為22mm，螺紋型的螺紋為M8×1。外形見附圖。

CYG506采用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性。CYG506采用準(zhǔn)齊平微管腔的封裝設(shè)計(jì)，因此有優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性，可用頻率即使是zui低量程1KPa的品種可達(dá)20千赫茲以上。

六、CYG507型微型中/低壓傳感器（表壓、密封表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ5.5mm的園柱形微型中壓傳感器CYG507原是為創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，埋植測(cè)量高頻動(dòng)態(tài)高壓設(shè)計(jì)的，是高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器CYG401、CYG406中低壓段的微型化封裝產(chǎn)品。也可用于小容積體內(nèi)爆燃高壓、石油勘采壓裂測(cè)井等要求小尺寸安裝的動(dòng)態(tài)高壓測(cè)試用途。

CYG507的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造，采用了背面齊平承壓、無管腔封裝等一系列已獲得*的技術(shù)。因而具有高達(dá)數(shù)百千赫茲的固有頻率，快至亞微妙的上升時(shí)間，確保了高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)試的要求。小的封裝外形尺寸滿足了特殊環(huán)境條件的要求。

CYG507微型中壓傳感器為表壓或密封表壓模式，其外形有標(biāo)準(zhǔn)的Φ5.5mm小園柱形及衍生的螺紋安裝型（標(biāo)準(zhǔn)螺紋為M8*1,部份量程zui小可訂制M6*0.75），詳見外形圖。

五、CYG508型微型高壓傳感器（表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ8mm的園柱形微型高壓傳感器CYG508原是為創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，埋植測(cè)量高頻動(dòng)態(tài)高壓設(shè)計(jì)的，是高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器CYG401的微型化封裝產(chǎn)品。也可用于小容積體內(nèi)爆燃高壓、石油勘采壓裂測(cè)井等要求小尺寸安裝的動(dòng)態(tài)高壓測(cè)試用途。

CYG508的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造，采用了背面齊平承壓、無管腔封裝等一系列已獲得*的技術(shù)。因而具有高達(dá)數(shù)百千赫茲的固有頻率，快至亞微妙的上升時(shí)間，確保了高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)試的要求。小的封裝外形尺寸滿足了特殊環(huán)境條件的要求。

CYG508微型高壓傳感器為表壓（2MPa以下時(shí)）或密封表壓（2MPa以上時(shí)）模式，其外形有標(biāo)準(zhǔn)的小園柱形及衍生的螺紋安裝型（標(biāo)準(zhǔn)螺紋為M10*1），詳見外形圖。（CYG508LP外徑Φ10mm, 標(biāo)準(zhǔn)螺紋為M12*1）

六、CYG511型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG511型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG511傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG511的極薄的柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG511的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄zui終尺寸的薄形傳感器。

七、CYG512型超薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG512型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中超薄形模型上下表面壓力場(chǎng)分布設(shè)計(jì)的，是CYG511的改進(jìn)型。尤其適用于縮模徑向尺寸較大，厚度很小，不能或不容易挖坑貼埋，只能貼于表面的工況設(shè)計(jì)的。1mm左右的厚度使其對(duì)流場(chǎng)的影響減小到很小的程度。（僅用于空氣中測(cè)量使用）

CYG512使用了CYG511同樣的*的硅硅直接鍵合的壓力敏芯片，具有很優(yōu)良的靜態(tài)力學(xué)特性。由于精密設(shè)計(jì)與加工的封裝結(jié)構(gòu)在將總厚度縮小到1mm左右的同時(shí)，也就大大減小了敏感元件與傳感器進(jìn)壓殼體封裝空間的容積，將淺型管腔對(duì)動(dòng)態(tài)頻響的影響減至zui小，因此它具有優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性。

八、CYG513型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG513型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG513傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG513的極薄的柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。（僅用于空氣中測(cè)量使用）

CYG513的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄zui終尺寸的薄形傳感器。

九、CYG514型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG514型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將薄的CYG514傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝，因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG514的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄zui終尺寸的薄形傳感器。

CYG514外形為薄園扣式。標(biāo)稱直徑為ф11 mm，厚度為2.8 mm（帶出線護(hù)管型厚度為3mm），引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點(diǎn)處接有用PCB板制成的電橋補(bǔ)償平衡器。

CYG514由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于*無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜，含水量高，可使用復(fù)蓋有有機(jī)硅凝膠保護(hù)表面及電極的CYG514S，有機(jī)硅凝膠會(huì)有些降低其動(dòng)態(tài)頻響性能。

采用薄膜有機(jī)材料覆蓋保護(hù)的產(chǎn)品CYG514P，由于保護(hù)膜厚度為um量級(jí)，因此對(duì)動(dòng)態(tài)頻響損失較少，但特制周期較長(zhǎng)及有較多的成本增加。

CYG515型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG515型薄形壓力傳感器是專為復(fù)雜環(huán)境下空氣動(dòng)力學(xué)研究中，模型表面壓力場(chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將CYG515傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG515的超細(xì)電纜引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG515的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有超薄的厚度。

CYG515外形為薄園扣式。1:標(biāo)稱直徑為ф11mm，厚度為3.2mm（帶出線護(hù)管型，線徑ф1.7mm）。 2:標(biāo)稱直徑為ф12 mm，厚度為4 mm（帶出線護(hù)管型，線徑ф2.2mm*）。3: 標(biāo)稱直徑為ф12 mm，厚度為5 mm（帶出線護(hù)管型，線徑ф2.5mm抗干擾*）。引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點(diǎn)處接有內(nèi)代恒流源的電橋補(bǔ)償平衡器（尺寸ф12mm×25mm）。

CYG515由于用敏感元件背面承壓，因此它適用于無腐蝕性的氣液體測(cè)量。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜：如水中或戶外露天等環(huán)境中使用。

CYG516型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG516型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG516傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG516的Φ4mm超細(xì)導(dǎo)氣的電纜可直接貼在模型表面上（參考管可以與電纜分離，也可與電纜一體）。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng),同時(shí)解決了參考拉力的引出。

CYG516的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄zui終尺寸的薄形傳感器。

CYG522型薄形水工壓力傳感器（表壓、絕壓）

CYG522型薄形水工壓力傳感器是專為水動(dòng)力學(xué)研究中，水洞、水槽中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG522傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG522的極細(xì)的電纜線（Φ1.8mm、Φ2.2mm、Φ2.5mm、Φ3mm）可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG522的壓力敏感組件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造

CYG571微型滲透水壓力傳感器（絕壓、表壓）

該產(chǎn)品力敏元件利用硅壓阻效應(yīng)，通過MEMS工藝及微封裝技術(shù)相結(jié)合制作而成，當(dāng)敏感元件感受到壓力作用時(shí)，將會(huì)輸出一個(gè)與壓力成正比變化的電壓信號(hào)。

該產(chǎn)品適用于小尺寸模型中非飽和以及飽和土體中滲透水壓測(cè)量，通常與動(dòng)態(tài)土應(yīng)力傳感器配套使用。該產(chǎn)品具有微小的外型尺寸、較寬的量程范圍、優(yōu)異的靜態(tài)特性以及*的穩(wěn)定性，較常規(guī)滲透水壓力傳感器具有更高的靈敏度（可替代PDCR81）。