- 傳感器的量程與分辨率 - 量程12.5mm和0.8nm 的垂直分辨率
- 數(shù)據(jù)記錄 - 以橫向(X軸)數(shù)據(jù)點間距為0.125μm進行數(shù)據(jù)記錄,可完成全程200mm (1,600,000 數(shù)據(jù)點)的測量
- 表面形狀基準桿 - 驅動箱全程200mm內(nèi)配有直線度為0.125μm的精密基準桿
- 工作平臺的穩(wěn)定性 - 配有抗震、防噪系統(tǒng)的大理石基座
- 分析的靈活性 - 提供寬廣領域的軸承分析功能選項