AX10FA模擬型直接熱式質(zhì)量流量計 AX10FA直接熱式質(zhì)量流量計控制器
AX10FA直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，
AX10FA模擬型直接熱式質(zhì)量流量計 AX10FA直接熱式質(zhì)量流量計控制器
AX10FA直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，
AX10FA可用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應(yīng)用，
AX10FA也同樣適用。
AX10FA直接熱式MFC/MFM與其它差壓原理的V10FC一樣，具有三路流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。
產(chǎn)品應(yīng)用
產(chǎn)品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析,科研院所實驗設(shè)備。
產(chǎn)品特點
● 直接熱式原理，無層流元件
● 無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
● 適用于各種低壓和高壓管道
● 精確測量和控制氣體的質(zhì)量流量
● 預(yù)熱時間短,零漂小，可靠性高
● 多種氣體可選,也可自行輸入
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)指標(biāo) AX10FA-RC質(zhì)量流量控制器 AX10FA-RM質(zhì)量流量控制器
量程范圍 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
控制范圍 控制器20：1 流量計20：1
準(zhǔn) 確 度 流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃
線 性 ±0.5%F.S
重復(fù)精度 ±0.2%F.S
響應(yīng)時間 100ms 10ms
數(shù) 字 量 RS232/485，MODBUS協(xié)議
模 擬 量 0～5V、4～20mA、1～5V
供電 12V/24V/±15V可選
工作溫度 0～50℃
工作壓力 工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
zui大耐壓 低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa
電氣連接 DB15孔
漏 率 1×10-9SccsHe
溫度系數(shù) ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì) 316L
密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接 頭 VCR1/4;swagelokφ6
