德國(guó)BMT WLI白光干涉儀
采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量，評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過(guò)釘合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。
德國(guó)BMT WLI白光干涉儀
采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量，評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過(guò)釘合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤(pán)，使采集的單個(gè)測(cè)量點(diǎn)相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤(pán)的儀器。與尼普科夫掃描盤(pán)相比，微透鏡掃描盤(pán)使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測(cè)量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源，避免了使測(cè)量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無(wú)限長(zhǎng)。儀器配備了物鏡切換盤(pán)，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
檢測(cè)物件的設(shè)定和測(cè)量全過(guò)程可以通過(guò)一個(gè)獨(dú)立的監(jiān)視器觀察。測(cè)量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)估程序。
儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤(pán)自動(dòng)伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
主要用途：
◆ 粗糙和光滑表面的測(cè)量和顯示
◆ 亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測(cè)量
◆ 金相測(cè)量
◆ 非接觸式表面輪廓的計(jì)量
主要特點(diǎn)
◆ 0,1mm2到0,7mm2視場(chǎng)
◆ 采用釘合方式擴(kuò)大視場(chǎng)
◆ 配置物鏡切換盤(pán)
◆ 確定垂直分辨率來(lái)設(shè)定測(cè)量時(shí)間
◆ 橫向分辨率可達(dá)1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm
◆ 具有采用微透鏡掃描盤(pán)的快速光學(xué)系統(tǒng)
◆ 全自動(dòng)數(shù)據(jù)評(píng)估
◆ 實(shí)驗(yàn)室和在線兩用設(shè)計(jì)
主要優(yōu)點(diǎn)：
◆ 高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對(duì)物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化
◆ 測(cè)量結(jié)果與材料表面性能無(wú)關(guān)
◆ 根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
◆ 無(wú)人干預(yù)全自動(dòng)測(cè)量過(guò)程
◆ 將微透鏡掃描盤(pán)自動(dòng)伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆ 采用壓電驅(qū)動(dòng)或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描
