SFT-110型 X射線熒光鍍層厚度測量儀
1. 通過自動定位功能提高操作性
測量樣品時,以往需花費(fèi)約10秒的樣品對焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大提高樣品定位的操作性。
2. 微區(qū)膜厚測量精度提高
通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。
3. 多達(dá)5層的多鍍層測量
使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測量。
4. 廣域觀察系統(tǒng)(選配)
可從zui大250×200mm的樣品整體圖像測量位置。
5. 對應(yīng)大型印刷線路板(選配)
可對600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測量。
6. 低價位
與以往機(jī)型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價格。
[主要產(chǎn)品規(guī)格]
檢測器: 比例計(jì)數(shù)管
X射線源: 空冷式小型X射線管
準(zhǔn)直器: 0.1、0.2mmφ2種
樣品觀察: CCD攝像頭
樣品臺移動量:250(X)×200(Y)mm
樣品zui大高度:150mm