美國道康寧擴散泵硅油DC704 高真空技術(shù)中使用的擴散泵油，要求耐熱氧化性，冷卻溫度下蒸氣壓低，且其蒸氣壓隨溫度變化大，沸騰溫度不能過高。早期曾使用水銀，目前主要使用礦油類、酯類、聚苯醚及硅油等。其中以硅油的性能，它具有熱氧化穩(wěn)定性高、粘溫系數(shù)小、沸點范圍窄、蒸氣壓曲線陡（溫度變化一點，蒸氣壓變化很大），常溫蒸氣壓低，凝固點低，加之化學惰性，無毒、無味、無腐蝕。因而它可在250℃下長時間使用，在真空下允許在更高溫度下使用。
當前各國使用的擴散泵硅油主要仍是DOW CORNING公司開發(fā)的下列兩種：DC-704和DC-705。使用上述硅油可獲得1.333×10-7~1.333×10-11kPa（無阱條件下）及1.333×10-10~1.333×10-12kPa。
美國道康寧擴散泵硅油DC704 是為高真空和在生產(chǎn)作業(yè)中快速對大容積氣體抽真空而設(shè)計的，國內(nèi)95%以上的進口擴散泵用DOW CORNING的擴散泵硅油。
美國道康寧擴散泵硅油DC704 特點
- 縮短調(diào)節(jié)運行時間；
- 單一組分硅油比用多組分硅油達到zui大真空度需要的時間短得多；
- 快速抽空；
- 極小的回流，DOW CORNING單一組分硅油的蒸汽壓力是很低的，以至對于許多應(yīng)用阱或現(xiàn)存的阱致冷是不需要的；
- 較長的服務(wù)壽命；
- 硅油的熱和化學穩(wěn)定性允許*的運行而不被惡化和污染；
- 清洗系統(tǒng)維修需求較少；
- 較快的循環(huán)，減少停機時間，更換油的需求少。
| 產(chǎn)品名稱 | 粘度 cSt（25℃） | 敞開閃點，℃ | 沸點，℃ （0.5乇時） | 典型爐溫，℃ | 推斷的蒸汽壓力，乇（25℃）時 | 極限真空度，乇 | 比重,25℃ | |
| 無阱 | 有阱 | |||||||
| DC702 | 45 | 193 | 180 | 190 | 1×10-6 | 10-6 | — | 1.07 |
| DC704 | 39 | 221 | 215 | 220 | 2×10-8 | 10-710-8 | 到10-11 | 1.07 |
| DC705 | 175 | 243 | 245 | 250-270 | 3×10-10 | 10-910-10 | 10-11 | 1.09 |
| 產(chǎn)品 項目 | DC 702 | DC 704 | DC 705 |
| 特性 | 熱穩(wěn)定性，高溫抗氧化性，化學惰性 | 苯含量高，化學惰性，無雜質(zhì)，抗氧化、輻射和爆炸 | 熱穩(wěn)定性，低水汽壓力，低回流率，抗氧化、水解和輻射 |
| 用途 | 用于生產(chǎn)工作中快速抽空大容積氣體和水汽 | 用于制造10-7~10-8乇（無阱）和10-10~10-11乇（有阱）的真空） | 用于制造超高和超潔凈真空 |
使用硅油的擴散泵被廣泛用在電子、電氣及金屬加工等要求高真空系統(tǒng)的領(lǐng)域，如顯像管、燈泡、大功率電子管、微波電子管、原子能加速器、電子顯微鏡、半導體元件、集成電路、電子部件、金屬真空鍍膜、真空冶金、加工鍛燒裝置及真空蒸餾等部門。
