產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
f20是我們的通用臺(tái)式儀器。它們?cè)?被用于幾千種用途。厚度和折射率在幾秒鐘內(nèi)就能得到測(cè)量。就像我們所有的臺(tái)式儀器一樣,f20需要連接到您裝有windows計(jì)算機(jī)的usb端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)即可完成設(shè)定。
不同的f20膜厚測(cè)量儀主要是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。標(biāo)準(zhǔn)的f20是我們zui為普遍的產(chǎn)品。較短的波長(例如,f20-uv)一般用于測(cè)量較薄的薄膜,而較長的波長(例如,f20-nir)則可以用來測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
產(chǎn)品特性:
操作簡(jiǎn)單、使用方便;
測(cè)量快速、準(zhǔn)確;
體積小、重量輕;
價(jià)格便宜
產(chǎn)品應(yīng)用:
半導(dǎo)體行業(yè):光阻、氧化物、氮化物;
lcd行業(yè):液晶盒間隙厚度、 polyimides;
光電鍍膜應(yīng)用:硬化膜、抗反射膜、濾波片
| f20-uv | f20 | f20-nir | f20-exr |
測(cè)量范圍(只測(cè)試厚度) | 30å ~ 50μm | 150å ~50μm | 1000å ~ 250μm | 150å ~ 250μm |
測(cè)量范圍:(同時(shí)測(cè)試厚度和n&k值) | 500å ~ 5μm | 1000å ~ 5μm | 3000å ~ 10μm | 1000å ~ 10μm |
波長范圍 | 200-1100nm | 380-1050nm | 950-1700nm | 380-1700nm |
準(zhǔn)確度 | 大于 0.4% 或 20å | |||
精度 | 1å | 2å | 1å | |
穩(wěn)定性 | 0.7å | 1.2å | 0.7å | |
光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn) | |||
樣品大小 | | |||
探測(cè)器類型 | 1250-元素硅 | 512-元素砷化銦鎵 | 1000-元素硅 & 512砷化銦鎵陣列 | |
光源 | 正規(guī)氘燈 & 鎢鹵素?zé)?/span> | 正規(guī)鎢鹵素?zé)?/span> |