產(chǎn)品名稱 氣體流量傳感器
產(chǎn)品型號 M9/4008
產(chǎn)品特點
?靈敏度高，有極小的始動流量；
?傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補
償，保證了流量計的高精度計量；
?在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比
達到了100:1甚至更高；
?各種連接方式，易于安裝與使用；
?輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或
由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出
線性的模擬電壓；
?LED顯示瞬時流量和累積流量，允許現(xiàn)場用鍵盤配
置流量計參數(shù)；
?可記錄
產(chǎn)品名稱 氣體流量傳感器
產(chǎn)品型號 M9/4008
產(chǎn)品特點
Ÿ靈敏度高，有極小的始動流量；
Ÿ傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補
償，保證了流量計的高精度計量；
Ÿ在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比
達到了100:1甚至更高；
Ÿ各種連接方式，易于安裝與使用；
Ÿ輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或
由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出
線性的模擬電壓；
ŸLED顯示瞬時流量和累積流量，允許現(xiàn)場用鍵盤配
置流量計參數(shù)；
Ÿ可記錄自上電以來瞬時流量的zui大值和zui小值，具
有超量程指示功能；
Ÿ零點穩(wěn)定度高；
Ÿ全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性；
Ÿ低功耗、低壓損；
Ÿ響應速度快。
產(chǎn)品簡介
M9/4008系列氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系
列流量計均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清
潔、干燥氣體。*的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安
裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計并配以多種信號輸出，通過通
訊接口可實現(xiàn)對流量計的靈活配置與參數(shù)查詢。M9/4008具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用
戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計的參數(shù)。
產(chǎn)品應用
Ÿ環(huán)境監(jiān)測
Ÿ電纜充氣機
Ÿ*
Ÿ*
Ÿ設(shè)備通風檢測裝置
Ÿ其他工業(yè)應用
性能指標
部件描述
M9/4008
性能參數(shù)M9/4008 單位
通徑： 8 mm
zui大流量： 10,20,30,40,50 SLPM
量程比：100：1
精度%： ±（1.5+0.2FS）
重復性%： 0.75
零點輸出漂移mV：±30
輸出漂移% / ℃：0.16
響應時間ms：100（默認，50，100，200，500，1000可設(shè)置）
工作電源：8～18Vdc，100mA
輸出方式：RS232, RS485, 模擬電壓0.5~4.5Vdc
顯示方式：4位7段LED數(shù)碼管顯示，2個指示燈
指示單位：瞬時流量：SLPM；累積流量：SL
顯示分辨率SLPM： 0.01，0.1可設(shè)置
zui大流量壓損： 600 Pa
zui大工作壓力MPa：1.0
工作溫度℃：-10～+55
儲存溫度℃：-20～+65
工作濕度%RH：<95
機械接口：R 1/4, NPT 1/4, 4mm/6mm/8mm快速接頭
鍵盤：三個按鍵
引出線：5針插頭，配0.5m電纜
標準校準氣體空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量g：57
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工作原理
M9/4008系列小流量氣體質(zhì)量流量計是基于矽翔微機電系統(tǒng)有限公司自主研制的MEMS流量
傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣
體的質(zhì)量流量。
該流量計同時實現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成
穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，
形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機電系統(tǒng)流量計芯片上的傳感器將
測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調(diào)理
并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不
同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
安裝使用
請按以下順序安裝和使用流量計：
1）打開產(chǎn)品包裝盒，包裝盒內(nèi)應包含下列物品：
a）M9/4008質(zhì)量流量計一只；
b）帶接頭連接電纜一根；
c）說明書一份；
d）合格證一份;
2）確認產(chǎn)品無任何機械損壞;
3）將產(chǎn)品的引線按照所給定義正確連接到使用裝置上;
4）確認連接正確后，接通電源;
5）接通電源預熱15分鐘后測量的參數(shù)值精度會更高。
RS232通訊方式
操作模式:
1.通過RS232流量計發(fā)0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發(fā)0x54,并取得流量計的返回信號0x54;
發(fā)送的兩個字節(jié)時間間隔必須超過5ms。流量計將進入操作模式，每隔設(shè)定的響應時
間從RS232輸出一組數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式如下：
V=vvvvnF=ffffffffnA=aaaaaaaan; n
V=vvvv 電壓內(nèi)碼;
F=ffffffff 流量;相當于fffff.fff SLPM
A=aaaaaaaa 代表總流量，相當于aaaaaaa.aaa SL。
用戶模式:
1.通過RS232流量計發(fā)0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發(fā)0x00,并取得流量計的返回信號0x00;
發(fā)送的兩個字節(jié)時間間隔必須超過5ms。流量計將進入用戶模式，RS232輸出停止
數(shù)據(jù)輸出。
流量連續(xù)輸出模式:
1.通過RS232流量計發(fā)0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發(fā)0x56,并取得流量計的返回信號0x56;
發(fā)送的兩個字節(jié)時間間隔必須超過5ms。流量計將進入連續(xù)輸出模式，每隔設(shè)定的響
應時間從RS232輸出一組數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式如下：
F=ffffffffn; n
其中 F=ffffffff含義同上。
查詢瞬時流量模式:
1.通過RS232流量計發(fā)0x9d,并取得流量計的返回信號0x9d;
2.通過RS232流量計發(fā)0x55,并取得流量計的返回信號0x55;
發(fā)送的兩個字節(jié)時間間隔必須超過5ms。流量計將返回一個瞬時流量值，格式為
"ffffffff”, 代表順時流量fffff.fffSLPM。
數(shù)據(jù)流定義
a）波特率：38400 bps；
b）數(shù)據(jù)位：8位；
c）停止位：1位；
d）校驗位：無；
e）流控制：無。
