穩(wěn)流閥
穩(wěn)流閥可以在壓力變化的情況下維持流量穩(wěn)定。上游控制器是在上游入口保持壓力恒定的情況保持流量恒定。下游控制器是在下游出口壓力恒定的情況下保持流量恒定。vici的穩(wěn)流閥由鋁或不銹鋼棒材加工以防污染，有時是模壓鑄造零件。流量是由viton密封調節(jié)閥調節(jié)。為了保證穩(wěn)流效果，穩(wěn)流閥的入口壓力必需高于出口壓力10psi以上。大入口壓力200psi。 model 202氣體穩(wěn)流 上游壓力穩(wěn)定但可調的流量控制器
model 202型穩(wěn)流閥是上游壓力可調穩(wěn)流閥。流量調節(jié)范圍在小0.5 ml/min，大1.6 l/min的流量范圍內無級調節(jié)（n2，40psi）。在10圈范圍內調節(jié)零至大流量。使用spectrol數字刻度調節(jié)時，重復性由于10％。
閥體材料有鋁或不銹鋼兩種，薄膜材料有viton和不銹鋼兩種。標準旋紐無刻度，數字撥盤顯示有三位和四位數兩種。鋁閥體viton薄膜 鋁閥體ss薄膜 ss閥體viton薄膜 ss閥體ss薄膜
標準旋鈕
fc22av1k fc22as1k fc22sv1k fc22ss1k
帶spectrol 3-位數字頭
fc22av1s3 fc22as1s3 fc22sv1s3 fc22ss1s3
帶spectrol 4-位數字頭
fc22av1s4 fc22as1s4 fc22sv1s4 fc22ss1s4 model 100氣體穩(wěn)流閥 上游壓力穩(wěn)定并固定的流量控制器
model 100型閥是上游壓力固定條件下的穩(wěn)流閥。大流量在150 ml/min到10 liters/min之間 (n2/40 psi)。本系列可以使用10圈spectrol 3位和4位數字撥盤。外接管為1/8” (eaor22)。也可專定其他尺寸外接管接頭。大壓力200psi。 鋁閥體 鋁閥體 ss閥體 ss閥體
viton 薄膜 ss 薄膜 viton 薄膜 ss 薄膜
流速/min
標準控制旋鈕
0-150 ml fc10av1k fc10as1k fc10sv1k fc10ss1k
0-250 ml fc10av2k fc10as2k fc10sv2k fc10ss2k
0-850 ml fc10av3k fc10as3k fc10sv3k fc10ss3k
0-1.2 l fc10av4k fc10as4k fc10sv4k fc10ss4k
0-4.5 l fc10av5k fc10as5k fc10sv5k fc10ss5k
0-10.0 l fc10av6k fc10as6k fc10sv6k fc10ss6k
帶spectrol2-位數字旋鈕
0-150 ml fc10av1s3 fc10as1s3 fc10sv1s3 fc10ss1s3
0-250 ml fc10av2s3 fc10as2s3 fc10sv2s3 fc10ss2s3
0-850 ml fc10av3s3 fc10as3s3 fc10sv3s3 fc10ss3s3
0-1.2 l fc10av4s3 fc10as4s3 fc10sv4s3 fc10ss4s3
0-4.5 l fc10av5s3 fc10as5s3 fc10sv5s3 fc10ss5s3
0-10.0 l fc10av6s3 fc10as6s3 fc10sv6s3 fc10ss6s3
帶spectrol4-位數字旋鈕
0-150 ml fc10av1s4 fc10as1s4 fc10sv1s4 fc10ss1s4
0-250 ml fc10av2s4 fc10as2s4 fc10sv2s4 fc10ss2s4
0-850 ml fc10av3s4 fc10as3s4 fc10sv3s4 fc10ss3s4
0-1.2 l fc10av4s4 fc10as4s4 fc10sv4s4 fc10ss4s4
0-4.5 l fc10av5s4 fc10as5s4 fc10sv5s4 fc10ss5s4
0-10.0 l fc10av6s4 fc10as6s4 fc10sv6s4 fc10ss6s4
model 300穩(wěn)流閥 下游壓力固定的流量控制器
model 300型流量控制器是在上游壓力變化（下游壓力不變）條件下，保證下游壓力固定的穩(wěn)流閥。達到穩(wěn)流狀態(tài)。在下游壓力為室內壓力時，大流量為1.6 l/min。
有標準無刻度旋紐和3－4位10圈spectrol數字撥盤旋紐。螺桿調節(jié)。外接管為1/8” (eaor22)。也可專定其他尺寸外接管接頭。下表所列流量是指 n2 在入口壓力為40 psi 的數值。大入口壓力為200psi。
鋁閥體 鋁閥體 ss閥體 ss閥體
viton 薄膜 ss 薄膜 viton 薄膜 ss 薄膜
流速/min
標準旋鈕
0-200ml fc30av1k fc30as1k fc30sv1k fc30ss1k
0-300ml fc30av2k fc30as2k fc30sv2k fc30ss2k
0-800ml fc30av3k fc30as3k fc30sv3k fc30ss3k
0-1.6l fc30av4k fc30as4k fc30sv4k fc30ss4k
帶spectrol 3-位數旋鈕
0-200ml fc30av1s3 fc30as1s3 fc30sv1s3 fc30ss1s3
0-300ml fc30av2s3 fc30as2s3 fc30sv2s3 fc30ss2s3
0-800ml fc30av3s3 fc30as3s3 fc30sv3s3 fc30ss3s3
0-1.6l fc30av4s3 fc30as4s3 fc30sv4s3 fc30ss4s3
帶spectrol 4-位數旋鈕
0-200ml fc30av1s4 fc30as1s4 fc30sv1s4 fc30ss1s4
0-300ml fc30av2s4 fc30as2s4 fc30sv2s4 fc30ss2s4
0-800ml fc30av3s4 fc30as3s4 fc30sv3s4 fc30ss3s4
0-1.6l fc30av4s4 fc30as4s4 fc30sv4s4 fc30ss4s4
使用改錐調節(jié)
0 - 750 ml fc31av1
