型號(hào) | MMF564 | MMF786 | |
行程mm | X-Axis | 500 | 700 |
Y-Axis | 600 | 800 | |
Z-Axis | 400 | 600 | |
光柵尺分辨率(μm) | 0.5 | 0.5 | |
精度指標(biāo)/μm Accoracy1064-2000 | 3.5+L/300 | 3.5+L/300 | |
Z軸平衡 | 配重塊 | ||
鎖緊系統(tǒng) | 氣動(dòng)鎖緊 | ||
Dimension DxH | 930*1010*2180mm | 1150*1130*2480mm | |
機(jī)器重量 | 850kg | 1250kg | |
機(jī)器承量 | 500kg | 500kg | |
壓縮空氣 | 0.4MPA(4kgf/cm2) | 0.4MPA(4kgf/cm2) | |
Air Consumption(normal cond.) | 40L/min | 40L/min | |
溫度/Temperature Specification | 20℃±2℃ | 20℃±2℃ |