探針在被測工件上掃描由工件表面輪廓不平而形成上下位移, 使傳感器中磁回路間隙改變導(dǎo)致電感變化,形成微弱訊號。傳感器輸 出的微弱訊號經(jīng)放大、鑒相后,經(jīng)過低通濾器及根據(jù)高斯濾波器特性 而設(shè)計的長波段濾波網(wǎng)絡(luò),輸出模擬訊號分成二路,R參數(shù);輪廓參 數(shù)分別由數(shù)據(jù)采樣卡內(nèi)的16位A/D轉(zhuǎn)換處理,形成數(shù)字信息,經(jīng)PC 運算處理顯示。
二、評價項目:
Rk, Wp, Wv
二、特點:
♦的高精度采集控制系統(tǒng),有效精度達(dá)0.001 ^im
♦關(guān)鍵件采用特殊去應(yīng)力合金材料及特殊的去應(yīng)力處理工藝,精度保
持長久
♦高精度直線導(dǎo)軌 ♦的高精度采集控制系統(tǒng) ♦模塊化設(shè)計使用戶維護(hù)成本降至*低 ♦ PC配置靈活,可據(jù)根用戶要求配置
♦具有針對性、*性的系統(tǒng)保證測量的實時性及系統(tǒng)的穩(wěn)定性 四、技術(shù)參數(shù):
♦*大測量長度:25mm ♦直線度測量精度:0.4um
♦濾波器:高斯(Gaussian)濾波器(IS011562:1996),RC 濾
波器
♦截止波長:0.25,0.8,2.5
♦測量重復(fù)性:4%
♦相對示值誤差:±7%
♦測量長度:Ac X3、4、5、6、7 (1.0-17. 5mm)
♦測量范圍:640 um ♦ 分辨率: 0. OOlum
♦測量方式:傳感器移動式 ♦主機(jī)重量:約200Kg
♦主機(jī)尺寸:長(1600mm) x 寬(700mm) x 高(1400mm) 五、設(shè)備配置
|
六、軟件界面:
-1.453 u m
Ra | 0.4103 Pm | RP | 0.6621 Pm | Rpk | 0.0610 |
Rt | 1.4526 | Rpm | 0. 6237 Pm | Rk | 1.0071 |
Rz (Ry (j | 1. 3538 ^m | Rsk | -0.2011 | Rvk | 0. 3662 Pm |
Rmax | 1. 3977 Pm | Rv | 0.7356 ^ m | Mrl | 1.5* |
Rz CDIN) | 1•3538 ^m | Rs | 21.2113 V-m | Mr2 | TO. 3* |
Rz (jis) | 1.3237 | Rsm | 96. 1905 ^m | Rdc | 0.0000 Pm |
R3z | 1.3184 km | Rc | 0.8763 ^ m | R | 1.8953 ^m |
|M::il| < | > 1選擇/顯示指數(shù)|細(xì)除數(shù)g| 觸針位罝| 自動調(diào)整|手動v| a|
Ready
測星類型 |
cs-粗糙度
r波紋度
截止波長 掃描長度 測星速度
七.環(huán)境要求
♦環(huán)境要求:溫度:10〜30°C;相對濕度:<85% ♦ 功率需求:約400W;交流220V±10%,50Hz