X熒光光譜儀隨著分光、探測系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計算機的應(yīng)用,而得到迅速的推廣和發(fā)展。可以預(yù)料,對新技術(shù)、新方法的探索,還會不斷促進X熒光光譜儀器的更新發(fā)展。
X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器,在X射線激發(fā)下,被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線(即X熒光),波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

X熒光光譜儀是一種無損的,應(yīng)用廣泛的光譜分析儀器,X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構(gòu)成,X射線管產(chǎn)生入射X射線,激發(fā)被測樣品,受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。
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X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀(波譜儀,WDXRF)和能量色散型X熒光光譜儀(能譜儀,EDXRF),我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器,X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量剖析,元素局限13Al-92U,含量局限ppb至,檢出限到2pg。
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