X熒光光譜儀優(yōu)點(diǎn)：
1、分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定；
3、非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長(zhǎng)色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF），我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長(zhǎng)色散的儀器，X熒光光譜儀可對(duì)固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進(jìn)行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，檢出限到2pg。
X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線，這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫和壁畫。
X熒光光譜儀是一種較新型的可以對(duì)多元素進(jìn)行同時(shí)測(cè)定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線（即X熒光），波長(zhǎng)和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量。
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