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  • AccuFiz D 動(dòng)態(tài)相移型

AccuFiz D 動(dòng)態(tài)相移型

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2025-02-12
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量56
  • 人氣值18
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AccuFiz D型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動(dòng)態(tài)干涉儀,采用短相干光源,相干長(zhǎng)度約200微米;這使它既保持了菲索型的通常特點(diǎn),又保持了動(dòng)態(tài)干涉儀的特性,抗振動(dòng),對(duì)氣流擾動(dòng)不敏感,并可用于一些特殊的測(cè)量需求,特別適合平行平板測(cè)量、材料均勻性測(cè)量、大口徑凸球面的直接測(cè)量等。
AccuFiz D 動(dòng)態(tài)相移型 產(chǎn)品詳情
典型應(yīng)用

1. 遠(yuǎn)程空腔測(cè)量。  只要保證透射參考面(TF或TS)距樣品個(gè)反射面的光程小于2m, 即可進(jìn)行測(cè)量;而無需擔(dān)心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動(dòng)與氣流問題。最典型的應(yīng)用,是大口徑凸球面或凸非球面的測(cè)量,例如JSWT次鏡的測(cè)量。

2. 平行平板的測(cè)量,可以直接測(cè)量厚度大于200µm的平行平板,不產(chǎn)生干擾條紋

3.均勻性的測(cè)量,可實(shí)現(xiàn)定位干涉,只需保證樣品平行度足夠好,就可以直接測(cè)量,對(duì)樣品面形精度沒有特殊要求。

4.平面元件應(yīng)力雙折射的測(cè)量

5.平面元件的等厚差的測(cè)量

6.作為主機(jī),進(jìn)行動(dòng)態(tài)大口徑干涉儀自研


常規(guī)屬性

采集模式:采用相位相關(guān)探測(cè)器瞬時(shí)相移式

出光口徑:100mm,150mm,或其它定制尺寸

工作波段:636nm,相干長(zhǎng)度200µm

相機(jī)像素:2K x 2K pexels,12bit

腔長(zhǎng):0-500 mm或0-2 m

外形尺寸:干涉儀:51.4 x 23.8 x 20.3 cm

          光源:28.2 x 68.2 x 17.0 cm

干涉儀重量:13.6kg

系統(tǒng)性能

樣品反射率:1-99%(需衰減)

RMS重復(fù)性:0.0001waves (0.06nm)*

RMS精度:0.001waves(0.6nm)**


*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均

**采用10個(gè)數(shù)據(jù),每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均;以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果


配置選項(xiàng)

- 可選150mm 輸出口徑

- 可選4”TF 與RF平面標(biāo)準(zhǔn)鏡

- 可選4”TS (1/20 wv PVr) : F/0.65, F/0.75, F/1, F/1.5, F/2.4, F/3.3, F/4.9, F/7.1

- 可選6”TS (1/20 wv PVr): F/0.75, F/1.1, F/1.6, F/2.4, F/3.5, F/5.0, F.7.4

- 可選4”或6”樣品5維調(diào)整架


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