型號 | HRM-λ | HRTM-λ | HRTM/M-λ |
功能 | R、T或δ測量 | R/T/δ同時(shí)測量 | R/T/δ高分辨成像 |
重復(fù)性測試精度 | ≤1ppm | ||
測試波長 | 635nm, 1064nm, 1315nm或客戶定制 | ||
測試樣品口徑 | Φ5mm~Φ500mm(依客戶需求) | ||
測試角度 | 5°~45°(依客戶需求) | ||
測量動(dòng)態(tài)范圍 | 高反元件R或高透元件T:99.8%~≥99.9999% 高反元件T或高透元件R:0.2ppm~2000ppm 高反元件或高透元件δ:0.2ppm~2000ppm | ||
空間分辨率 | 優(yōu)于100μm |
高反元件R、T、δ同時(shí)測量結(jié)果:
高反元件R、T、δ高分辨成像結(jié)果: