的瞬態(tài)光電導技術
QSSPC技術對于監(jiān)測多晶硅硅片,摻雜劑的擴散,和低壽命樣本是理想的技術。這種方法補充了瞬態(tài)光電導技術的運用。瞬態(tài)光電導技術在這臺設備上也是標準的。
QSSPC壽命測量
QSSPC壽命測量也產(chǎn)生隱含的開路電壓(與lllumination)曲線,這可以與an1-v曲線在太陽能電池過程的各個階段進行比較。
優(yōu)秀的軟件數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
Sinton設備的分析能為每個晶片產(chǎn)生校準載流子注入水平,所以你可以以一個物理上的方式解讀壽命數(shù)據(jù)。每次測量都會顯示和記錄特定的參數(shù)。
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WCT系統(tǒng)功能
單擊即可鎖定晶硅片的關鍵參數(shù),包括方塊電阻、少子壽命、陷阱密度、發(fā)射極飽和電流密度和暗電壓
?制造過程的逐步監(jiān)測和優(yōu)化
?監(jiān)測初始材料質量
?晶片加工過程中檢測重金屬雜質
?評估表面鈍化和發(fā)射極摻雜擴散
?使用隱含V測量評估過程引起的分流