在化纖的“IMPACT系列,是傳感器的壓力,沒有傳輸流體,在高溫環(huán)境中使用(350°C)。
介質(zhì)壓力通過厚隔膜直接轉(zhuǎn)移到敏感的硅元素上。應(yīng)變由微晶硅結(jié)構(gòu)(MEMS)轉(zhuǎn)換。
操作原理是壓電式的。
“IMPACT”是Gefran的系列高溫壓力傳感器,使用的是壓敏原理。
“IMPACT”傳感器的主要特征是它們不包含任何傳輸流體。直接定位于接觸膜后的敏感元件通過微處理技術(shù)在硅中實現(xiàn)。
微結(jié)構(gòu)包括測量膜和壓敏電阻。
敏感元件所需要的最小偏轉(zhuǎn)使其有可能使用非常強(qiáng)健的力學(xué)。
這個過程接觸膜的厚度可以比傳統(tǒng)熔體傳感器的薄膜厚15倍。