設(shè)備特點
6個容器共用一套真空抽氣系統(tǒng),真空機組中每臺泵都能為全部或部分容器工作,體現(xiàn)備份設(shè)計理念,每個容器上均有獨立閥門控制,既可獨立工作,也可同時工作。該設(shè)備主要用于空間運動部件低氣壓放電試驗、高真空長壽命試驗、具有自動化程度高、操作簡單方便、長期運轉(zhuǎn)穩(wěn)定可靠等特點。
技術(shù)性能
1. 真空度:極限真空度5×10-5Pa,工作真空度≤1×10-3Pa;
2. 真空室尺寸:φ600×800mm;
3. 工位:6工位,既能同時運行,又可單獨運行;
4. 自動化程度高,可一機多用;
5. 設(shè)備已連續(xù)運行時間:12年。