掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900
集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
特點(diǎn):
①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察
■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品
● 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
● 選配樣品交換倉(cāng),可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
● 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
● 紅外CCD探測(cè)器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
● 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉(cāng)室導(dǎo)航相機(jī)
● 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
● 支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
■各種自動(dòng)化功能
● 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
● 提高了自動(dòng)聚焦精度
● 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
■Multi Zigzag,可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
● 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
● 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉(cāng),可以搭載多種配件
■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測(cè)量軟件Image pro
*配件
規(guī)格: