TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統(tǒng)
LaserTable-Base對現(xiàn)有光學平臺的振動隔離技術(shù)進行了ji大改shan。通常,光學平臺是由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐。雖然對于高頻的隔離非常有xiao,但是實際上被動系統(tǒng)在1-3H乙范圍內(nèi)會放大振動。
TMC的STACIS技術(shù)通過將壓電陶瓷制動器和慣性振動傳感器結(jié)合的zhuan利技術(shù)來消chu而不是放大低頻振動,成功地克服了這些局限。LaserTable-Base綜合了氣浮和STACIS這兩種技術(shù)組成一個完整的振動消chu系統(tǒng)。由于兩種隔離系統(tǒng)的串聯(lián),使此技術(shù)的振動隔離范圍從非常低的頻率到非常高的高頻。
LaserTable-Base頂部的氣浮部分是模塊化的、可替換的。它可以是TMC的Gimbal PistonTM氣浮隔振支腿,或者MaxDampB氣浮隔離支腿,甚至可以是剛性支腿,這取決于實際應用的需求。
特點
采用STACIS專li技術(shù)
主動式壓電陶瓷內(nèi)部振動消chu系統(tǒng)從低于1Hz開始隔離振動
擴展行程的壓電致動器,*高達60微米6個隔振自由度
為達到*大振動消chu,串聯(lián)2個隔離系統(tǒng)采用MaxDamp空氣隔離zhuan利技術(shù)操作簡單,性能穩(wěn)健,性價比高
桌子下有可用于放置設備的可選貨架包含TMC的DC-2020數(shù)字控制器
模擬VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振動測試,負載為2000磅(907 kg)
將低頻被動MaxDampQ氣浮隔振系統(tǒng)與壓電陶瓷主動隔振系統(tǒng)串聯(lián),得到垂直和水平方向兩個單獨的隔振性能曲線。
由此產(chǎn)生的隔振性能對比明顯,以至于在某些頻率范圍內(nèi),我們受到測量儀器噪聲地板的限制,無法測量和演示完整的隔離性能。也就是說,在10-12 Hz以上,組合系統(tǒng)的實際性能有望超過理論隔振性能曲線,因為組合隔離理論上是兩個子系統(tǒng)提供的隔離能力的總和。
TMC 混合壓電陶瓷/氣浮主動隔振系統(tǒng)
應用案例
森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦:
激光控制:激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設備與系統(tǒng)等等
探測器:光電探測器、單光子計數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等
定位與加工:納米定位系統(tǒng)、微納運動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉(zhuǎn)臺、微型操作器等等
光源:半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等
光機械件:用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應力光機械件,如光學調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等
光學平臺:主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等
光學y件:各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、tou射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等
染料:激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等