JKMDS-600型半導體冷熱臺
冷熱臺作為一種能夠控制樣品溫度的實驗設備,為半導體材料研究提供了有力支持。通過冷熱臺,科研人員可以在不同的溫度條件下對材料進行性能測試,了解材料的熱穩(wěn)定性、導電性、光學性能等關鍵參數(shù)。此外,冷熱臺還能模擬材料在溫度環(huán)境下的表現(xiàn),為材料的應用提供重要的參考數(shù)據(jù)。
JKMDS-600型半導體冷熱臺是使用 為廣泛的THMS600型高精度冷熱臺的加強型。其寬泛的溫度范圍(-196°C到600°C)和升溫速率(0.1到150°C/min),以及高精度(全程0.1°C)和高穩(wěn)定(<0.1°C),使其在各行業(yè)得到廣泛的應用。
其中的關鍵組件熱臺由銀質加熱塊、測溫元件以及密閉腔室組成。樣品放置在0.17mm厚的蓋玻片上,蓋玻片放置在高度拋光的銀質加熱元件上。銀質加熱元件保證了的熱傳遞和溫度測量。精度高于0.1°C的鉑電阻傳感器提供了非常 J確和穩(wěn)定的溫度信號。樣品腔室是氣密的,氣體閥可以控制腔室內的環(huán)境,即惰性氣體或濕度。
可以自動儲存150對XY軸坐標,全電動式移動。
參數(shù):
溫度范圍-196°C 到600 °C (-196℃需選擇專用冷卻系統(tǒng))
可控加熱速率0.1到150°C/min
通過LinkSys軟件進行計算機控制
馬達位置分辨率0.05µm
位置重復性<3um
150 X,Y 坐標可以存儲
大15mm X,Y 移動
手動或計算機操作
可定義計算機掃描區(qū)域
7, 10 或16mm樣品夾持器可用
全部速度范圍內消除樣品抖動
與圖像系統(tǒng)聯(lián)用,記錄樣品測定全過程
通風的底部窗口消除冷凝現(xiàn)象
新設計的上蓋可以允許快速更換鏡頭
使用熱臺支架直接安裝熱臺
物鏡工作距離.1mm 到4.9mm
聚光鏡 小工作距離12.7mm