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mfc330 微小氣體流量控制器

參考價訂貨量

4600

≥10只

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號mfc330
  • 品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2024-10-15
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量16
  • 人氣值307
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被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
微小氣體流量控制器 產(chǎn)品詳情

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被測氣體進入,通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

介質(zhì)要求 Applicable media

潔凈干燥氣體 Clean, dry gases

氣體種類 Gas type

98+氣體可選 Available for 98+ types of gas

量程 Full Scale(N2 equivalent)

0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

測量范圍measurement range

0.5%F.S. (1:200)

控制范圍 Control range

1% - 1   00% F.S. (1:100)

準(zhǔn)確度 Accuracy

標(biāo)準(zhǔn) Standard±1% F.S.   高精度High Performance±0.5%

重復(fù)精度Repeatability

±0.2% F.S.

線性度Linearity

±0.2% F.S.

控制響應(yīng)時間 Settling time (in control)

<3秒  

預(yù)熱時間 Warm-up time

5 min (T95), 30分鐘  30min for optimum accuracy

閥門Valve function

常閉式 Normally Closed

泄露率 Leak integrity

1*10-8 Pa·m3/sec He

 

機械特性 MECHANICAL

工作壓力 Maximum pressure

3 MPa (30bar

工作壓差范圍 Operating differential pressure

0 ~ 1 MPa

工作溫度范圍Operating temperature range

-20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas)

濕度范圍 Relative humidity range

0 ~ 98% 無凝露 No-condensing

氣路接頭類型Process connections

卡套,、VCR、快插、快擰 (可選)

(Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

氣體接觸材質(zhì)Material

氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel)

密封材質(zhì)Seals

氟橡膠 FKM

防護等級 Ingress protection (housing)

IP40

安裝方式 Mounting

水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation

固定孔 Mounting holes

M4   5mm

重量 Weight

0.96 kg

 

電氣和通訊 COMMUNICATIONS

電氣連接接口類型Electrical connection

DB  9公頭 (Male)

模擬信號 Analog input and output options

0  5 VDC, 4  20 mA (可定制)

輸入輸出阻抗 Impedance resistance

輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ

模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate

200Hz

數(shù)字信號 Digital input and output options

Modbu RTU (RS232, RS485), CAN

通信速率 Digital data update rate

9600(默認(rèn)), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps(用戶可修改

電源 Power requirements

15  40 VDC, <200mA

顯示更新頻率Display update rate

50Hz

模擬信號精度 Analog signal accuracy

±0.05%F.S.

 

特征 FRATURE

標(biāo)況 STP reference conditions

20℃, 1 atm

氣體選擇Gas Select

可選,具體參考說明書氣體系數(shù)

軟件Software

Aitoly分階流量軟件


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