工作特性:
特性 參數(shù)值
供電電壓 3VDC-10VDC 供電電流 20mA 工作溫度范圍 -20~+70℃ 補(bǔ)償溫度范圍 0~50℃ 零點(diǎn)精度
滿量程的 ±0.5% 響應(yīng)時(shí)間
1ms(典型值) 預(yù)熱時(shí)間
35ms 校準(zhǔn)氣體 清潔、干燥的氣體 總線標(biāo)準(zhǔn) I2C,快速模式(小于400 KHZ) 耐壓 150psig 爆破壓力 200psig
額定參數(shù):
60PSI
特性 參數(shù)值 供電電壓 -0.3VDC-11.0VDC 輸出引腳電壓 -0.3Vdc-3.0Vdc 儲(chǔ)存溫度范圍 -40~+100℃ 流量變化 10000 SLPM/S 共模壓力 流量 350 SLPM