四探針電阻測試儀是雙系統(tǒng)控制模式，可電腦控制，也可以觸摸屏控制。
數(shù)據(jù)處理：測試數(shù)據(jù)可顯示測試點(diǎn)的 X, Y 坐標(biāo)，電流電壓范圍，電阻，電阻率等。
圖譜功能畫面：制圖軟件可根據(jù)樣品形狀，測量點(diǎn)數(shù)量和位置，測量點(diǎn)的方阻值繪出2D, 3D MAP圖.
控制系統(tǒng)：機(jī)器是雙系統(tǒng)控制模式，可電腦控制，也可以觸摸屏控制
有伺服電機(jī)，高精度走位，探頭壓力傳感器，設(shè)有多重壓力感應(yīng)保護(hù)機(jī)制。
四探針電阻測試儀的參數(shù)：
1．方阻測量范圍：1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq
2．四探針探頭測量金屬類型：鋁 / 鈦 / 鎳釩 / 金/ 銅 等金屬
3．四探針探頭測量金屬厚度：100A～10μm
4．四探針系統(tǒng)電流量程：1μA , 10μA , 100μA ,1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七檔
5．四探針標(biāo)準(zhǔn)晶圓方阻重復(fù)性：1，≤±0.1%（同點(diǎn)靜態(tài)測量）2，≤±0.2% （動(dòng)態(tài)多點(diǎn)測量）
6．四探針標(biāo)準(zhǔn)晶圓測量精度：≤±0.5%（典型晶圓）
7．量測區(qū)域：以探針頭的中心到晶圓的邊緣距離3mm
8．測試圖形：
1，極地圖形（在對位晶圓的notch)
2，矩形圖形（無效邊緣排除以外進(jìn)行選擇）
3，直線掃描（可以是直徑，半徑或沿直徑的點(diǎn)到點(diǎn)，最小距離0.1mm)
4，用戶自定義（使用模板）
9．測量圖形表示：可以為輪廓圖，3D圖，water上顯示的數(shù)據(jù)圖數(shù)據(jù)表示
10．探針自清潔功能：陶瓷片清潔
11．所有設(shè)備測量的數(shù)據(jù)文件可以被導(dǎo)入到Excel，Word文檔，工作站等，數(shù)據(jù)圖形可以合并
