日本HORIBA STEC SEC-400MK3 SEC-500MK3氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào) STEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3 | ||||||||||||||||||||||||||||
概要 MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器的品質(zhì)特性的條件下實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號(hào)產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了成本降低。適合于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。 特征
規(guī)格
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