日本HORIBA UR-712M-B數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器
壓力控制器UR-Z700系列
常見(jiàn)的壓力控制器是UR-Z700系列,一款數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途,該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器常運(yùn)用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過(guò)程中,當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí),管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定,可能會(huì)對(duì)整臺(tái)設(shè)備的安全造成威脅。對(duì)于這個(gè)問(wèn)題HORIBA集團(tuán)研發(fā)出UR-Z700系列,通過(guò)快速響應(yīng),高精度,穩(wěn)定控制來(lái)調(diào)整管路壓力。面對(duì)這種情況,只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力,氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的安全穩(wěn)定運(yùn)行。
特征:
- 可使用DeviceNet控制接口
- 符合環(huán)保要求的RoHS處理
- 復(fù)合氣體/復(fù)合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。
- 可變PID功能提供全流量范圍高速響應(yīng)時(shí)間(在一秒以內(nèi))
- 緊湊型氣路-不需要調(diào)壓閥,壓力傳感器和過(guò)濾器
- 穩(wěn)定氣體流量控制,不受上流和下流壓力的影響
- 集成進(jìn)氣端壓力傳感器
- 自身多種顯示
- 精度保證1%設(shè)定流量
- 超潔凈設(shè)計(jì):金屬密封圈,所有都是SUS-316L不銹鋼,并且經(jīng)過(guò)表面拋光(標(biāo)準(zhǔn))
- 緊湊型尺寸-50SLM以內(nèi)采用一樣的尺寸
- 信號(hào)兼容-模擬/RS485數(shù)字模式,DeviceNet模式