HORIBA SEC-E40質(zhì)量流量控制器
HORIBA SEC-E40質(zhì)量流量控制器不根據(jù)使用環(huán)境的溫度和供氣的壓強(qiáng)的變化受影響，而是自動(dòng)調(diào)整至根據(jù)電力信號(hào)得到的設(shè)定流量值。流量大致可區(qū)分為“體積流量”和“質(zhì)量流量”。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如果需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流量質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素影響而能準(zhǔn)確的進(jìn)行流量測(cè)定。在必須對(duì)流量進(jìn)行準(zhǔn)確的管理或是需要構(gòu)筑自動(dòng)化生產(chǎn)線時(shí)，質(zhì)量流量控制器作為的一種設(shè)備，在極大的領(lǐng)域內(nèi)被廣泛的使用著。例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
HORIBA SEC-E40質(zhì)量流量控制器主要用途：
工業(yè)爐、熱處理爐用可燃燒氣體控制
針焊用可燃燒氣體控制
氫氣 、氧氣、丙烷、氬氣等為首的各種可燃燒氣體的流量控制
清洗氣體的流量控制
實(shí)驗(yàn)裝置上的氣體流量控制
要求需要自動(dòng)化的流量控制設(shè)備
希望把握所消耗流量總量的設(shè)備等
HORIBA SEC-E40質(zhì)量流量控制器的特征：
以魅力、價(jià)格實(shí)現(xiàn)從微小流量到大流量的控制；
高速響應(yīng)，1秒內(nèi)達(dá)到流量設(shè)定值。搭載了設(shè)計(jì)的控制回路和高速應(yīng)對(duì)的流量感應(yīng)器，根據(jù)所接收到的電力信號(hào)，流量的初期安定性比較好，通過(guò)流量變化的實(shí)施程序使得能一直保持安定的流量進(jìn)行測(cè)控。（大流量對(duì)應(yīng)型號(hào)：SEC-E80在2秒內(nèi)應(yīng)對(duì)）
高精度，±1.0％F.S
高信賴性，具備自動(dòng)調(diào)零功能
可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制；所謂質(zhì)量流量控制器，是計(jì)測(cè)質(zhì)量流量，可根據(jù)所接收的電力信號(hào)，自動(dòng)的進(jìn)行任意流量的一種控制器。因此，即使使用環(huán)境（如溫度、壓力）發(fā)生變化變化，也不必進(jìn)行修正，就能準(zhǔn)確的進(jìn)行質(zhì)量流量控制。
采用自動(dòng)流量功能閥門；流量控制閥門由于是采用自動(dòng)流量功能功能控制型，當(dāng)本體電源無(wú)供給時(shí)，閥門將自動(dòng)調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài)。停電時(shí)也可以將流量控制在最小限度內(nèi)。
HORIBA SEC-E40質(zhì)量流量控制器的工作原理：
1、入口處進(jìn)來(lái)的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。
2、通過(guò)感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息，在回路中交換成電力信號(hào)。
3、該信號(hào)通過(guò)增幅回路、修正回路、以0-5V的線性電力信號(hào)向外部輸出，另一方面又輸入至比較控制回路中。
4、外部得到的設(shè)定信號(hào)和從感應(yīng)器處得到的流量信號(hào)在比較回路中形成差異信號(hào)，再輸送至下一個(gè)的閥門驅(qū)動(dòng)回路中。
5、流量控制閥門盡可能使該差異信號(hào)將為“0”，使流量一直控制在設(shè)定流量。
HORIBA SEC-E40質(zhì)量流量控制器的規(guī)格
質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量控制器SEC-E40 |
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體 |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 |
閥門型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 |
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM |
流量控制范圍 | 2-99% F.S. |
流量測(cè)量范圍 | 0-99% F.S. |
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) |
流量精度 | ±1% F.S. |
直線性 | ±0.5% F.S. |
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. |
工作差壓值值 | 10 SCCM-5 SLM：50-300kPa(d) 10?30 SLM:100-300kPa(d) |
使用壓力 | 300kPa(G)以下 |
耐 壓 | 1MPa(G)以下 |
外部泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s(He)以下 |
使用環(huán)境溫度 | 5-50℃(精度的確保：15-35℃) |
流量設(shè)定信號(hào) | 0.1-5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2-99% F.S. |
流量輸出信號(hào) | 0-5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) |
驅(qū)動(dòng)電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 1/4SWL 類型 |
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：值300kPa(G)；SEC-70/80：值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。
