高溫PECVD系統(tǒng)主要特點(diǎn):
1、高溫?zé)Y(jié)。
2、控制穩(wěn)定可靠,操作方便,安全防護(hù)措施完善。
3、采用PID自學(xué)習(xí)模糊控制,控溫精度高,保持在±1℃。
4、爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果更好,節(jié)能降耗。
5、具有物聯(lián)網(wǎng)功能(WIFI),可通過(guò)手機(jī)、電腦遠(yuǎn)程對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控,操作。
6、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能,可保存燒結(jié)的重要參數(shù),時(shí)長(zhǎng)達(dá)30天之久(每天開(kāi)機(jī)8小時(shí))。
7、配方功能,可預(yù)存配方20條以上。
8、聯(lián)網(wǎng)功能,通過(guò)RJ45接口,采用TCP/IP協(xié)議,可以讓系統(tǒng)與上位機(jī)相連(上位機(jī)需安裝相應(yīng)軟件)。