產(chǎn)品性能:
該匹配器能夠提供快速、準(zhǔn)確和可靠的阻抗變換。可變電容由電機(jī)驅(qū)動(dòng),電機(jī)通過(guò)計(jì)算主板控制。
采用高速的匹配算法,可以調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速,即使是高Q值的系統(tǒng)也能達(dá)到準(zhǔn)確的匹配效果。
通過(guò)調(diào)整內(nèi)部繼電器,調(diào)節(jié)不同檔位,達(dá)到匹配。
應(yīng)用對(duì)象:
該雙頻匹配器主要應(yīng)用對(duì)象包括:刻蝕、PECVD系統(tǒng)