MCV-500+SD-500除具有MCV-500位移測量功能外,還具有矢量體積(空間精度)測量功能(矢量測量方法與儀器,美國6519043號(hào)2003年2月11日)。它用長方形平面鏡做靶標(biāo),通過對機(jī)床四根對角線的分軸不僅測量和分析可以得到機(jī)床的十二項(xiàng)誤差:三項(xiàng)垂直度誤差、三項(xiàng)直線位移誤差、六項(xiàng)直線度誤差。通過對這十二項(xiàng)誤差的補(bǔ)償來提高機(jī)床的空間精度,軟件可根據(jù)不同的控制器自動(dòng)生成相應(yīng)的補(bǔ)償程序進(jìn)行補(bǔ)償,也可通過軟件對零件加工程序G代碼自動(dòng)修正,提高零件加工精度。
檢測功能:
1、三維矢量法分軸步進(jìn)空間體對角線檢測
通過分軸步進(jìn)對三維空間四根對角線測量可同時(shí)得到:
X、Y、Z 軸的3 個(gè)定位精度誤差;
X、Y、Z 軸的水平、垂直方向的6 個(gè)直線度誤差;
X、Y、Z 軸之間的3 個(gè)垂直度誤差;
測量范圍:(3m×2m×1m)空間;
2、二維矢量法分軸步進(jìn)平面體對角線檢測
通過分軸步進(jìn)對二維平面兩根對角線測量可同時(shí)得到:
X、Y 軸的2 個(gè)定位精度誤差;
X、Y 軸的水平、垂直方向的4 個(gè)直線度誤差;
X、Y 軸之間的1 個(gè)垂直度誤差;
測量范圍:(3m×2m)空間;
3、購買SD-500 后,還可以實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)體對角線檢測
可以通過XYZ 三軸聯(lián)動(dòng)直接檢測三維空間的四根體對角線精度;
標(biāo)準(zhǔn)依據(jù):ISO230-6;
MCV-500基本技術(shù)參數(shù) | 激光頻率穩(wěn)定性 | ±0.05ppm |
| 氦氖激光管 | 2級(jí) |
| 激光輸出功率 | <1mW |
| 激光管壽命 | 40000小時(shí) |
| 空氣溫度傳感器精度 | ±0.1 ℃ |
| 空氣壓力傳感器精度 | ±1.1mmHg |
| 材料溫度傳感器精度 | ±0.1 ℃ |
| 環(huán)境溫度(濕度) | 5-38 ℃(0-95%) |
| 電源電壓(電源頻率) | 90-265V(50-60Hz) |
線性位移測量 | 測量距離 | ≥15m(30m,60m,100m可選) |
| 分辨率 | 1nm |
| 精度 | ±0.5ppm |
| 速度 | 5m/秒 |
向量法體對角線檢測 | 分辨率 | 1nm |
| 精度 | ±0.5ppm |
| 測量范圍 | 3m×2m×1m |
| 速度 | 4m /秒 |
| 可檢測出機(jī)床3個(gè)定位精度、6個(gè)直線度、3個(gè)垂直度誤差 |