一、產(chǎn)品用途：
無塵無氧烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，本設(shè)備適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu).
二、性能特點：
1、箱體內(nèi)膽采用優(yōu)質(zhì)SUS304#鏡面不銹鋼材質(zhì)，滿焊接后經(jīng)無塵化處理，表面潔凈，自身不產(chǎn)塵。2、設(shè)備內(nèi)置進口耐高溫高效過濾器，結(jié)合設(shè)計的熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)道，安全可靠的加熱控制系統(tǒng)，配合充氮控制系統(tǒng)，確保工作室內(nèi)達到class100無塵無氧的潔凈防氧化環(huán)境。干燥箱全部采用不銹鋼材料，完善的控制系統(tǒng)，使得工作室的溫度更加均勻。
3、氣體系統(tǒng)：采用進口耐高溫高效無框過濾器H.E.P.A，過濾效率 99.997% @0.3UM，
選配：氧含量分析儀，記錄數(shù)據(jù)。6點溫度記錄儀
4、溫控系統(tǒng)：采用宇電觸摸屏PID自動演算，溫度精準度±0.1℃，120組*100段程序，溫度曲線，超溫抑制，傳感器斷線保護，選配RS485通訊端口。水冷系統(tǒng)。
5、無氧控制：配置氧含量分析儀（選配）雙流量計節(jié)氮系統(tǒng)，雙延時充氮控制，無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。
