測定精度 | Z:±(2.5+0.5×IHI)μm以下 H:変位(mm) |
分解能 | Z:0.25μm X分辨率:0.1μm |
取樣數(shù)/最小間隔 | Max 64,000點/Min 0.5μm |
測定范圍 | Z:30mm X:50mm |
表示倍率 | 縱(Z)、 橫(X):1~2,000倍 |