測(cè)定范圍 | Z:50mm X:100mm |
測(cè)定精度 | Z:±0.25%/全量程 |
測(cè)針 | R25μm 30mN以下 |
測(cè)定角度 | 上升77° 下降87° |
測(cè)定倍率 | 縦橫とも1~200倍 |