氣動(dòng)超高真空擋板閥簡(jiǎn)介
本CF系列超高真空擋板閥系列適用于超高真空系統(tǒng)中開(kāi)斷管路，其為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式。CF系列超高真空擋板閥具有工作平穩(wěn)，使用可靠、密封性能佳和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，是超高真空設(shè)備閥門之一。氣動(dòng)超高真空擋板閥是以壓縮空氣為動(dòng)力開(kāi)啟或關(guān)閉閥板，在失去氣源時(shí)，閥板將依靠彈簧力自動(dòng)關(guān)閉。閥門的介質(zhì)為空氣及少數(shù)腐蝕性氣體。
超高真空氣動(dòng)擋板閥特點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化設(shè)計(jì)，易于更換超高真空擋板閥及維修；
超高真空擋板閥便于清潔的設(shè)計(jì)；
軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無(wú)潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率??；
CF系列超高真空擋板閥主要性能指標(biāo)：
適用范圍：1×10-6pa～1.2×105Pa
打開(kāi)時(shí)閥板上的壓差：≤1.2×105Pa任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
建議維修前循環(huán)次數(shù)：200，000次
閥體烘烤溫度：打開(kāi)時(shí)≤200℃；關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
壓縮空氣（只適用于氣動(dòng)）：0.4～0.7MPa
閥門開(kāi)閉時(shí)間（只適用于氣動(dòng)）：≤1s
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)（磁性開(kāi)關(guān)）
閥門重量、訂貨號(hào)：見(jiàn)上表
CF系列超高真空擋板閥外形尺寸氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)
超高真空擋板閥選配件
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)閥門啟閉位置指示開(kāi)關(guān)（磁性開(kāi)關(guān)），型號(hào)為D-A73。
