- 商品名稱: 氨氣分析儀
- 商品編號: AE-NH3
- 副標: AE-NH3
- 微量組分: NH3
- 行業(yè)用途: 半導(dǎo)體制造
- 產(chǎn)品型號: AE系列
? 快速、連續(xù)實時測量 ? 出色的長期穩(wěn)定性,優(yōu)異的精度 ? 儀器占用空間小,可滿足不同場景應(yīng)用,無需使用耗材 ? 簡便、快速的安裝,便于現(xiàn)場操作
性能
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適用氣體:大氣
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檢測范圍:詳見技術(shù)參數(shù)表
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測量下限:詳見技術(shù)參數(shù)表
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靈敏度:±0.75% 或 1/3LDL
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準確度:±3% 或 LDL
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響應(yīng)速度:< 1minute to 95%
電子參數(shù)
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報警指示:系統(tǒng)報警
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供電要求:100-240VAC,50/60Hz
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功率:300W(MAX)
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用戶界面:10.1 寸液晶顯示屏
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信號輸出:4-20mA 輸出、RS485 輸出、
自適應(yīng)網(wǎng)絡(luò)、RS-232 串行通信
氣路系統(tǒng)和條件
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工作環(huán)境溫度:10℃~ 40℃
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工作環(huán)境相對濕度:30%至 80%(無凝液)
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存放溫度:-10℃ -40℃
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管路材料:316L 不銹鋼
Ra < 0.25μm -
檢漏測試:< 1×10-9mbar l/sec
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入口壓力:0 ~ 15psi
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流量:約 1.0slm
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通入氣體溫度: 60℃
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進出氣口氣路:1/4VCR 公頭
其它
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尺寸:730mm×310mm×248mm
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重量:15Kg
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外觀:垂直面板
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被檢氣和背景氣:NH3 in Air
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測量范圍:0-10ppm
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測量下限:0.3ppb
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靈敏度:0.1ppb