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氣體質量流量控制器LF-A010
采用熱式原理、氣體的質量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。主板采用多層布線,具有更好的抗干擾能力,良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。測量和控制的量程范圍大,.大滿量程可達30ln/min.耐腐蝕,耐高壓至10MPa.5預熱時間短,零漂小,可靠性高。±1.0%F.S的精度、精度高,線性度好
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產品用途
用于對30L內流量氣體的質量流量進行精密的測量和控制,具有精度高,穩(wěn)定性好,數字電路,可靠性高,安裝簡單,操作方便。
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應用領域
廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
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氣體質量流量控制器LF-N產品參數
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產品型號
LF-A010
LF-A011
滿量程范圍
2SCCM-30SLM
量程比
控制器50:1
流量計100:1
精度
±1.0%F.S
線性
±0.5%F.S
重復性
±0.2%F.S
閥門類型
常閉閥
響應時間
≤1S~3S
工作壓差
0.1...0.5Mpa
.大耐壓
3MPa,可選10Mpa
工作環(huán)境溫度
5...45℃
泄漏率
1×10-8Pa.m3/s
通信信號
RS232/RS485 MODBUS協(xié)議
供電方式
24VDC(250mA)
密封材料
丁晴橡膠 氟橡膠
接頭尺寸
3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
電器接頭
DB9針