要生產(chǎn)晶圓,例如要生產(chǎn)太陽(yáng)能晶圓產(chǎn)品,晶體需要從所謂的晶體生長(zhǎng)爐(單晶爐、多晶爐)內(nèi)的熔液拉出。
從熔液形成的晶體生長(zhǎng)由晶體化的熔液慢慢冷卻形成的。因此,測(cè)量熔液的溫度很重要,同樣,測(cè)量加熱元件的溫度以準(zhǔn)確控制過(guò)程也很重要。這二個(gè)溫度需要協(xié)調(diào)好,以確保晶體生長(zhǎng)的優(yōu)化。
德國(guó)DIAS紅外測(cè)溫10系列、40系列、42系列、44系列適合這些晶體生長(zhǎng)的測(cè)溫。主要可用的型號(hào)有DS40N、DS44N、DG42N、DS42N,測(cè)溫范圍為350~2500°C,均為短波紅外測(cè)溫儀。根據(jù)晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)的型號(hào),也可以使用DSR10N、DSR44N雙色紅外測(cè)溫儀。44系列、10系列還可以兼容總線系統(tǒng),易于集成到現(xiàn)有控制系統(tǒng)中去。
在空間比較狹小的地方,推薦使用光纖紅外測(cè)溫儀。比如可以使用DSF40N及DSF44N系列,測(cè)溫范圍600 ~ 1800 °C ,最小探頭光圈僅僅12 mm。此外,還可以選擇直角鏡或彎曲的光纖電纜。測(cè)量光斑僅僅幾個(gè)毫米直徑。從而,對(duì)這些溫度測(cè)量任務(wù),選擇的紅外測(cè)溫儀光學(xué)系數(shù),可以觀測(cè)和控制這些晶體生長(zhǎng)過(guò)程。
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