SS-60系列掃描電子顯微鏡的說明:
(1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000 X);
(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);
(3)5kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);
(4)通過選配EDS可進行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);
(5)Tilt(0~90)載物臺配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))。
SS-60系列掃描電子顯微鏡的特性:
(1)臺式掃描電子顯微鏡,體型小巧,占用空間??;
(2)強大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡單;
(3)軟件實現檢測圖形實時存儲;
(4)掃描電子顯微鏡產品結構設計簡潔,易于維護及保養(yǎng);
(5)自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。
SS-60掃描電子顯微鏡的技術參數:
分辨率 | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率 | 30~60,000 X |
加速電壓 | 5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step) |
圖像檢測 | 二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SE+BSE) | |
觀察模式 | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
電子槍系統(tǒng) | |
燈絲類型 | 預對中鎢燈絲 |
偏壓系統(tǒng) | 自動偏壓方式 |
電子槍校正 | 手動方式 |
透鏡構成 | |
聚光鏡 | 2段式磁線圈透鏡 |
物鏡 | 1段式磁線圈透鏡 |
探測器類型 | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺系統(tǒng) | 自動或者手動 |
載物臺移動 | 3軸(X,Y,R)或5軸(X,Y,R,Z,T) |
圖像偏移 | Image shift X, Y Image Shift (±150μm) |
樣品尺寸 | 高度40mm時直徑70mm |
圖像掃描 | 快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) | |
圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自動功能 | 自動啟動,自動聚焦,自動亮度對比度調節(jié) |
圖像存儲格式 | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數據顯示 | 放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等 |
真空系統(tǒng) | 高真空模式 (旋轉式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min (渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間:3分鐘以內 |
操控系統(tǒng) | 鼠標和鍵盤 |
PC:臺式電腦(Desk Top) | |
軟件 | 圖像文件打開,編輯,存儲功能長度,面積,角度等測量功能,設置數初始化,圖像拍攝模式轉換,Archives, Setting(EDS)模式等 |
體積 | 設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm |
重量 | 95kg |
設備環(huán)境 | 溫度:15℃~30℃ 電源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz |