VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技術(shù)目前在在人臉識別、3D感測、汽車自駕駛、手勢偵測和VR(虛擬現(xiàn)實(shí))/AR(增強(qiáng)現(xiàn)實(shí))/MR(混合現(xiàn)實(shí)等應(yīng)用領(lǐng)域越來越受到關(guān)注，萊森光學(xué)®可以為客戶提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測解決方案：LIV光譜/功率積分測試、NF近場特性測試、FF遠(yuǎn)場特性測試、BRDF/BTDF光學(xué)材料AR/VR特性測試、VCSEL專用積分球,實(shí)現(xiàn)對VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測量、光譜波長及功率測量、近場遠(yuǎn)場測量等各種定制化應(yīng)用需求。
VCSEL-LIV-NF-FF自動化在線晶圓機(jī)由萊森光學(xué)專門針對基于6寸 VCSEL晶圓得LIV光譜測試/NF近場測試/FF遠(yuǎn)場測試研發(fā)而成，特別適合晶圓線上自動化測量。
主要技術(shù)特點(diǎn)
● 滿足ISO/IEC標(biāo)準(zhǔn)
● 晶圓支持6寸
● 支持脈沖和CW模式
NF近場測試
主要技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 |
| 規(guī)格 | 單位 |
晶圓參數(shù) | 晶圓尺寸 | ≤6 | inch |
晶圓厚度 | 100~3,000 | μm | |
晶圓曲度 | ≦10 | mm | |
芯片尺寸 | 150~3,000 | μm | |
襯底尺寸 | ≧50 | μm | |
光功率 | 0.1~10,000 | mW | |
波長 | 800~1,100 | nm |
LIV-NF-FF | LS-LIV-1000 | LS-NF-2000 | LS-FF-3000 |
測量能力 | LIV和光譜功率測量 | 近場測試 | 遠(yuǎn)場測試 |
LIV，Leakage current漏電流，Ith閾值電流，Kink，中心波長（λc），峰值波長（λp），F(xiàn)WHM半高寬 | 光斑大小、橢圓度、發(fā)散角、功率分布等 | 斑發(fā)散角、能量空間分布、光斑準(zhǔn)直度、對稱度（IEC60825-2） | |
溫控能力 | 5-85℃（標(biāo)準(zhǔn)）， | ||
電流源通道選擇 | 取決于DUT結(jié)構(gòu)，可由PXI基礎(chǔ)配置 | ||
測量方法 | 雙極，25W /通道，4線，CW和QCW | ||
電壓范圍 | ±100mV, ±300mV, ±600mV；±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V, ±30V, | ||
電流范圍 | ±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA | ||
電流脈沖寬度 | >100 μs | ||
脈沖占空比 | 20％ | ||
光學(xué)測試模塊 | 帶標(biāo)定積分球和光譜儀 | 帶自動對焦顯微鏡系統(tǒng)的CCD攝像頭 | 高速CCD攝像頭/標(biāo)準(zhǔn)板 |
